專業(yè)實(shí)驗(yàn)室凈化無塵車間裝修標(biāo)準(zhǔn)按照國際慣例,無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂實(shí)驗(yàn)室凈化施工無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
廣州實(shí)驗(yàn)室凈化無塵凈化車間的溫濕度主要是依據(jù)您的加工工藝請(qǐng)求來肯定,在滿足加工工藝的條件下,必選應(yīng)該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請(qǐng)求的進(jìn)步,工藝對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來越高,必需到達(dá)一定的溫濕度等級(jí)。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請(qǐng)求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時(shí)請(qǐng)求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對(duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,專業(yè)實(shí)驗(yàn)室凈化這種車間不宜超越25度?!穸蛇^高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中,就會(huì)惹起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
防止從相鄰的潔凈度較低區(qū)域向無塵室傳達(dá)污染的首要辦法是:保持高潔凈度區(qū)域有關(guān)于低潔凈度區(qū)域、實(shí)驗(yàn)室凈化施工低潔凈度區(qū)域有關(guān)于效勞區(qū)域、效勞區(qū)域有關(guān)于室外有一個(gè)適宜的正壓值。這么就可削減由室外向效勞區(qū)域,效勞區(qū)域向低等級(jí)無塵室,低等級(jí)無塵室向高等級(jí)廣州專業(yè)實(shí)驗(yàn)室凈化無塵室傳達(dá)空氣中的懸浮污染物。正壓值并非越大越好,很多理論研討和實(shí)習(xí)都證實(shí),人員、物料經(jīng)過門時(shí),即使門兩邊關(guān)門壓差高達(dá)50Pa~60Pa,仍難肯定防止隨人員、物料向內(nèi)移動(dòng)時(shí)的帶著氣流將污染帶入室內(nèi)。特別是當(dāng)門兩邊存在溫度差時(shí),門打開后,即使無人走動(dòng),在開口斷面有些面積上也存在逆向氣流,帶入空氣的污染物。
負(fù)離子是一種帶負(fù)電的化學(xué)基團(tuán),能發(fā)作可逆性改變,存在時(shí)刻極短,自身并無殺滅微生物的才能,專業(yè)實(shí)驗(yàn)室凈化主要是靠帶電離子與空氣中的微粒特別是微生物顆粒聯(lián)系,構(gòu)成多個(gè)顆粒凝集變大然后敏捷沉降,使空氣到達(dá)凈化的意圖。廣州實(shí)驗(yàn)室凈化空氣中負(fù)離子只要在具有某些化學(xué)性質(zhì)時(shí),如活性氧離子等,它們才具有損害蛋白質(zhì)的才能然后殺滅微生物,因而負(fù)離子對(duì)空氣凈化的才能對(duì)比有限,對(duì)空氣中微生物粒子清除率只能到達(dá) 70%~90% 。
手術(shù)室凈化是一項(xiàng)比較復(fù)雜的系統(tǒng)工程,但是在專業(yè)實(shí)驗(yàn)室凈化手術(shù)室凈化在使用之后,手術(shù)室內(nèi)的空氣能夠達(dá)到潔凈無污染的狀態(tài),我們要怎樣進(jìn)行保養(yǎng)呢。1、廣州專業(yè)實(shí)驗(yàn)室凈化手術(shù)室凈化工程的高效過濾器更換完畢后需確認(rèn)邊框無滲漏現(xiàn)象,并用塵埃粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測,達(dá)到技術(shù)指標(biāo)后方可進(jìn)行正常工作。2、定期對(duì)電氣線路進(jìn)行檢修,如有故障可參照電氣原理圖進(jìn)行維修。3、要定期使用儀器測定設(shè)備的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo),如不符合技術(shù)參數(shù)要求應(yīng)及時(shí)予以處理。4、根據(jù)實(shí)際使用情況,定期將手術(shù)室凈化工程的初效空氣過濾器中的濾料取下清洗。
1.外廊盤繞式:專業(yè)實(shí)驗(yàn)室凈化外廊能夠有窗或無窗,以兼作觀賞和放置一些設(shè)備用,而通常選用10萬級(jí)和外窗有必要是雙層密封窗。2.廣州實(shí)驗(yàn)室凈化內(nèi)廊盤繞式:無塵室設(shè)在外圍,而走廊設(shè)在內(nèi)部,這種走廊的潔凈度等級(jí)通常需較高,乃至和無塵室同樣的等級(jí),此外無塵室設(shè)在外圍時(shí),需注意并無外窗設(shè)置。3.兩頭式:無塵室設(shè)在一邊,另一邊設(shè)準(zhǔn)無塵和輔佐用居室。4.基地式:為了節(jié)省用地、縮短管線,能夠?qū)o塵區(qū)設(shè)在基地,上下左右被各種輔佐房和蔭蔽管道的空間包圍起來,削減與外氣的熱交換。