無(wú)塵室內(nèi)的技術(shù)設(shè)備應(yīng)選料精巧，光亮耐磨，那些滾動(dòng)、滑動(dòng)部位分外首要，要盡也許地削減磨損及產(chǎn)塵。正規(guī)車(chē)間空氣凈化關(guān)于那些產(chǎn)塵的技術(shù)進(jìn)程要盡也許地將其封閉或設(shè)置圍擋，并輔以排風(fēng)，形成有些規(guī)模有關(guān)于無(wú)塵室的負(fù)壓，以約束污染物向無(wú)塵室別的區(qū)域分散。對(duì)百色正規(guī)車(chē)間空氣凈化室內(nèi)的機(jī)器設(shè)備定時(shí)地進(jìn)行清洗、擦洗是必要的準(zhǔn)則，也是削減積塵二次飛揚(yáng)的有用辦法。

百色車(chē)間空氣凈化無(wú)塵凈化車(chē)間的溫濕度主要是依據(jù)您的加工工藝請(qǐng)求來(lái)肯定，在滿(mǎn)足加工工藝的條件下，必選應(yīng)該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請(qǐng)求的進(jìn)步，工藝對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來(lái)越高，必需到達(dá)一定的溫濕度等級(jí)。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請(qǐng)求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就惹起了0.24um線(xiàn)性收縮，所以必需有±0.1度的恒溫，同時(shí)請(qǐng)求濕度值普通較低，由于人出汗以后，對(duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，正規(guī)車(chē)間空氣凈化這種車(chē)間不宜超越25度?！穸蛇^(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中，就會(huì)惹起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

在潔凈室的規(guī)劃中，正規(guī)車(chē)間空氣凈化通常選用間隔方法將空間分紅若干個(gè)小潔凈區(qū)，通常這些房間設(shè)置是密閉狀況，這么做是為了操控外界的污染。1.百色車(chē)間空氣凈化工業(yè)凈化工程出產(chǎn)中由于高溫的設(shè)備會(huì)不斷排出熱氣，熱氣體排風(fēng)體系可對(duì)其進(jìn)行熱收回處理。當(dāng)有便或是排氣量小時(shí)選用隔熱辦法。2.有些商品在出產(chǎn)過(guò)程中會(huì)排出酸或堿性氣體，選用酸、堿氣體排風(fēng)體系設(shè)置濕式洗氣吸收塔進(jìn)行處理。3.通常排風(fēng)體系將出產(chǎn)過(guò)程中排出的通常廢氣直接排入大氣。4.出產(chǎn)過(guò)程中有時(shí)會(huì)用到各類(lèi)有機(jī)物，這時(shí)會(huì)發(fā)生有機(jī)物質(zhì)的氣體，選用有機(jī)氣體排風(fēng)體系對(duì)其進(jìn)行處理。5.潔凈室內(nèi)，不一樣商品在出產(chǎn)過(guò)程中會(huì)排出不一樣濃度粉塵物質(zhì)，選用含粉塵的排風(fēng)體系對(duì)排出的氣體進(jìn)行過(guò)濾處理。6.工業(yè)凈化工程對(duì)特別成份的商品進(jìn)行出產(chǎn)時(shí)，會(huì)發(fā)生特別氣體，如毒性、腐蝕性等，選用特別氣體排氣體系對(duì)排出氣體進(jìn)行處理，合格后排入潔凈室大氣中。

無(wú)塵室空調(diào)送風(fēng)體系的結(jié)尾設(shè)備--高效空氣過(guò)濾器或超高效空氣過(guò)濾器，在正常狀況下能有用過(guò)濾經(jīng)空調(diào)機(jī)組處理的新風(fēng)和回風(fēng)中的顆粒污染物。正規(guī)車(chē)間空氣凈化經(jīng)高效、超高效空氣過(guò)濾器處理后的潔凈空氣送入室內(nèi)，可有用地排替、沖淡室內(nèi)污染物，百色正規(guī)車(chē)間空氣凈化以保持室內(nèi)的潔凈度。但末級(jí)過(guò)濾器如有破損或過(guò)濾器與支持結(jié)構(gòu)間的密封呈現(xiàn)裂隙，氣密性失效，那么未經(jīng)高效空氣過(guò)濾器過(guò)濾的空氣就也許帶著很多污染粒子進(jìn)入室內(nèi)并隨氣流分散，損害影響規(guī)模較大。因而無(wú)塵室投入運(yùn)用前的末級(jí)過(guò)濾器檢漏、堵漏或替換作業(yè)十分首要。作業(yè)進(jìn)程中防備末級(jí)過(guò)濾器受損，也十分首要。