實(shí)驗(yàn)室凈化一般實(shí)驗(yàn)室包括:常規(guī)實(shí)驗(yàn)室、層流手術(shù)室凈化施工凈化實(shí)驗(yàn)室、辦公室三部分。其中裝飾裝修應(yīng)該主要指常規(guī)實(shí)驗(yàn)室的墻壁、地面等、也即辦公區(qū)域的裝飾裝修;空調(diào)凈化是指的是有凈化要求的實(shí)驗(yàn)室區(qū)域做的凈化施工,一般菌檢室、純化室等都是要求凈化萬(wàn)級(jí)的;實(shí)驗(yàn)室家具指的是常規(guī)實(shí)驗(yàn)室和深圳正規(guī)層流手術(shù)室凈化凈化實(shí)驗(yàn)室的操作臺(tái)、水池、柜子等;監(jiān)控是指代有攝像頭布置的施工;門(mén)禁指的是有特殊需求的門(mén)的施工,如其中有的門(mén)是一定的人才能進(jìn)入(如凈化區(qū)域只授權(quán)一定的人才能進(jìn)入、財(cái)務(wù)室只授權(quán)財(cái)務(wù)的人進(jìn)入、大門(mén)需要記錄員工的進(jìn)出情況和出勤情況;強(qiáng)弱電指的是:一般的照明、設(shè)備用電施工為強(qiáng)電施工;而監(jiān)控、門(mén)禁、電話等都叫弱電施工。
無(wú)塵室可分為層流型和亂流型。層流手術(shù)室凈化施工層流無(wú)塵室是指空氣由一側(cè)全部地以同速流向另一側(cè),使室內(nèi)發(fā)作的塵?;蚣?xì)菌不會(huì)向附近渙散而被平推出室外或許通過(guò)回風(fēng)口過(guò)濾器過(guò)濾處理,而深圳正規(guī)層流手術(shù)室凈化到達(dá)好的除菌效果,該方法對(duì)比合適用于高潔凈度等級(jí)請(qǐng)求的職業(yè)無(wú)塵室。亂流無(wú)塵室是指空氣由無(wú)塵室頂部通過(guò)組合式空調(diào)機(jī)組初中效過(guò)濾器過(guò)濾,加壓由通過(guò)保溫的風(fēng)管渙散送到各個(gè)房間,最終通過(guò)高效送風(fēng)口送入無(wú)塵室內(nèi),以到達(dá)凈化的效果,該送風(fēng)方法對(duì)比常見(jiàn),回風(fēng)通常做在旮旯或許立柱的底部,全體回風(fēng);無(wú)塵室的送風(fēng)體系少不了各種空氣過(guò)濾器的嚴(yán)格控制。
深圳層流手術(shù)室凈化無(wú)塵凈化車(chē)間的溫濕度主要是依據(jù)您的加工工藝請(qǐng)求來(lái)肯定,在滿足加工工藝的條件下,必選應(yīng)該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請(qǐng)求的進(jìn)步,工藝對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來(lái)越高,必需到達(dá)一定的溫濕度等級(jí)。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請(qǐng)求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時(shí)請(qǐng)求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對(duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,正規(guī)層流手術(shù)室凈化這種車(chē)間不宜超越25度?!穸蛇^(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中,就會(huì)惹起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
深圳正規(guī)層流手術(shù)室凈化清潔潔凈室內(nèi)的墻時(shí)應(yīng)使用潔凈室無(wú)塵布,使用已獲批準(zhǔn)的潔凈室專用去污劑,每天都要檢查車(chē)間和整備間的垃圾箱,并及時(shí)清走。每塊地板都要吸塵,每次交接班時(shí),層流手術(shù)室凈化施工清潔潔凈室的地面應(yīng)使用專用拖把。在潔凈室里吸塵應(yīng)使用帶有高效過(guò)濾器的專用真空吸塵器。所有的門(mén)都需要檢查并擦干吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。架空地板下也要吸塵及擦拭。工作時(shí)一定要記住,永遠(yuǎn)是由上往下擦,從離門(mén)最遠(yuǎn)的地方向門(mén)的方向擦。潔凈三個(gè)月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。